Từ đường Cầu Giấy qua chùa Hà và Trường Tiểu học Dịch Vọng B đến phố Tô Hiệu.
Đất xã Dịch Vọng, huyện Từ Liêm.
Nay phố thuộc hai phường Dịch Vọng và Nghĩa Tân, quận Cầu Giấy.
Tên phố mới đặt tháng 1/2002.
Chùa Hà là đi tích lịch sử - cách mạng được xếp hạng năm 1995. Chùa có tên chữ là Thánh Đức tự ở xóm Bối Hà, thôn Trung xã Dịch Vọng cũ. Tương truyền vào đời Lê Hy Tông có hai người làng Thổ Hà ngụ ở đó để bán các mặt hàng gốm. Hai người này làm ăn phát đạt đã cúng tiền để xây dựng chùa bằng gạch ngói vào năm Chính Hoà thứ nhất (1680). Từ đó hai làng Thổ Hà và Dịch Vọng Trung kết nghĩa, đặt tên xóm và chùa là Bối Hà nên từ đó còn có tên là chùa Hà.
Từ năm 1944 nơi đây còn là địa điểm gặp gỡ liên lạc công tác của Thành ủy Hà Nội. Ngày 15/8/1945 đồng chí Nguyễn Quyết Bí thư Thành ủy Hà Nội đã triệu tập cán bộ và đội viên tự vệ, thanh niên tuyên truyền xung phong ở đây để chuẩn bị Tổng khởi nghĩa giành chính quyền ở Hà Nội. Năm 1982 di tích này đã gắn biển di tích cách mạng.